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硅片燒結升降爐原理

 更新時間:2025-04-17 點擊量:526

邦世達硅片燒結升降爐的原理基于精準溫控、氣氛調控與機械升降的協同作用,專為硅片燒結工藝設計,實現穩定的材料處理。

1. 溫控系統

采用PID智能溫控儀表,可預設多段升溫、恒溫、降溫程序,溫度控制精度達±1℃。通過硅碳棒或硅鉬棒加熱元件,配合雙層爐殼風冷系統及輕質保溫材料,確保爐內溫度均勻性,滿足硅片燒結對溫度穩定性的嚴苛要求。

2. 爐體升降結構

電動環狀銷輪減速器驅動爐體沿內外軌道升降,裝卸料時爐體下降至低位,減少搬運震動對硅片的損傷;燒結時爐體上升至高溫區,實現密閉環境下的均勻加熱。

3. 氣氛控制

通過氣體流量計向爐內通入氮氣、氫氣等保護氣氛,防止硅片氧化。高精度熱電偶實時監測爐內氣氛及溫度,確保燒結過程的氣體純度與溫度一致性。

4. 安全與自動化

爐門開啟時自動斷電,配備過流、限流、過熱保護功能,確保操作安全。支持程序化運行,用戶可一鍵啟動預設工藝,減少人工干預,提升生產效率。

邦世達升降爐通過模塊化設計,兼顧高溫穩定性與操作便捷性,適用于半導體、電子陶瓷等領域的小批量生產與科研實驗。


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